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产品分类
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产品信息
1:特点和优势
a 采用PLC控制,触摸屏式人机界面,实时工艺监控
b 灵活的电极组合适用于不同类型的产品载具实现Direct或DowStream模式等离子工艺
c 具有自动阻抗匹配的13.56MHz射频电源保证工艺的重复性
d 专有软件控制系统可记录工艺和生产数据,便于统计和工艺控制
2;苛刻生产环境下均匀的等离子体处理技术
诺信MARCH的AP-1000系统专为满足高性能制造环境下24小时操作严格要求而设计,可实现均匀等离子体处理,安全稳定且操作简便。